微型光譜儀的精度業(yè)內人士通常理解為儀器的精密度，包括短期精密度和長(cháng)期精密度，但對于使用者常常理解為準確度，實(shí)際兩者是可以統一的，精密度好的儀器，準確度一定能調試好，反之則不能。

　　光譜儀的精密度與儀器的靈敏度關(guān)聯(lián)度非常高，一般情況高靈敏度儀器精密度也高，比如一條譜線(xiàn)實(shí)際光強為10lm，假設探測器靈敏則轉化為1000/A，探測器不靈敏則可能為100/A，示值就有10倍的差距，就像用米尺去測工件，誤差在毫米以上。當然還有數值處理方法和人為因素，在這里不討論。那么微型光譜儀靈敏度與哪些因素有關(guān)呢？本文歸納以下幾點(diǎn)：

　?。?）光源的特性，其中包括光源能量、頻率特性、單火花脈沖能量、放電波形等，因此良好的光源一定是千百次對不同材料試驗調整的結果；

　?。?）光柵的衍射效率，光柵的制造最大的特點(diǎn)是個(gè)體的差異性很大，少見(jiàn)兩塊衍射曲線(xiàn)*一樣的光柵，這是光柵的制造工藝決定的。高的衍射效率有效信號損失的就小，才能將更真實(shí)的信號呈現在探測器接收面；

　?。?）探測器的性能，一個(gè)靈敏且穩定的探測器是對信號強度真實(shí)反映的必要條件。

　?。?）微型光譜儀軟件數學(xué)模型，一個(gè)真實(shí)信號不僅僅是剔除背景，而是瞬態(tài)和趨勢的即時(shí)展現，尤其大數據高速采樣，已經(jīng)突現軟件建模的數值計算技巧和深奧數理結合的重要性。